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三坐標測量機和高精度測長機等一些精密測量設備，很多都會采用氣浮裝置作為測量平臺。因為高壓氣體通過空氣軸承中細小的氣眼進入工作面與導軌面之間，會形成均勻的氣隙，因為導軌間沒有摩擦和磨損，就可以保持長期的性能均勻性。
三坐標測量機測頭校準是測量過程中非常重要的一個環節，在校準過程中產生的誤差將影響最終的測量結果，在測頭校正過程中引起誤差的主要因素有：測桿的彎曲變形，測頭校正時觸測點位置，測力，觸測速度和探測距離等，
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