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濺射是半導體制造中一道不可或缺的工序，用以制備薄膜材料。在實際生產中通過使用離子轟擊的方式將靶材上的原子逸出至單晶硅基板上，形成金屬薄膜。
靶材是濺射工藝中使用中的關鍵核心材料。目前靶材行業被美日大企業壟斷把控，其他廠商想要在激烈的競爭中脫穎而出，就需要在技術、質量實力后來居上。其中質量控制離不開高精密測量技術。
寧波江豐電子材料股份有限公司是國產集成電路材料的核心企業，其研發生產的超高純金屬濺射靶材填補了中國在此領域的空白，滿足不斷擴大的市場需求。
為了提升靶材尺寸測量效率，縮短交付周期，緩解勞動力缺口壓力，江豐電子在2021年12月6日正式啟動自動化檢測引進項目。本項目由思瑞提供密檢測設備、模德寶提供柔性自動化解決方案，攜手合作突破行業瓶頸。
這份自動化方案中采用了思瑞CROMA686三坐標作為測量機型。CROMA采用?？怂箍祵ｉT打造的控制系統，提供21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，保證機器的動態性能和測量精度。
此外，CROMA搭載的多項核心技術為精密測量提供保障。先進全鋁技術、精密60°三角梁技術、高精密氣浮系統、歐洲進口光柵尺多項核心技術保證其測量精度。
精心制造的CROMA三坐標為穩定測量提供堅實保障。選材上基于集團供應鏈平臺，讓CROMA均選用優質零件。制造中采用高標準工藝流程和工藝裝備，保證機器質量。
在此方案中，CROMA機型搭載了自動化模塊系統，可以實現和機器人、上下料系統以及相關傳感器的信息互動。通過自動化管理軟件，自動完成工件測量，分析判斷工件檢測結果，根據需要生成檢測報告及數據。
思瑞測量為此次三坐標柔性自動化檢測線項目提供了精準測量保障。此后思瑞將持續關注制造行業的測量需求，不斷創新，幫助相關制造行業實現高效率精準測量做出更大的貢獻。
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